ATOS数字式伺服执行器循环控制，或是位置闭环控制，还可选加上速度/压力/力的闭环控制。
它们是智能机器的组成要素，同液压源连接, 并同电子单元连线后即可使用，方便易用。
带位移传感器的伺服油缸
ATOS数字式伺服执行器DLHZO
集成数字式控制器Z-RI-TEZ
电子反馈信号
插头，接电源、电子信号及现场总线网络
根据需要，进行不同的运动循环参数设置，非常简便：
随动控制：通过外部输入模拟型或数字型参考信号，伺服执行器能够精确地完成对位置，速度和加速度的控制
循环控制：伺服执行器自动管理并执行运动档案，包括位置/速度/加速度和可选力控制综合设置
工作原理
图1是常见的气动薄膜调节阀，来自调节器的气压信号进入膜室后转换成推力，通过推杆推动阀门，调节被控对象中的流量。
图2是带阀门定位器的气动薄膜调节阀工作原理图。气压信号p1进入波纹管后，经杠杆使挡板与喷嘴靠近，因此喷嘴背压p2增大，并经气动功率放大器放大后送入执行机构的膜室推动阀门。同时，执行机构的位移通过凸轮和弹簧在杠杆上产生反馈力，此力与波纹管产生的信号力相平衡，因此执行机构输出位移与输入信号成正比。
图3为电动执行器的原理框图。来自调节器的输入信号与执行机构位置反馈信号相比较。当存在偏差时放大器就有电压输出到电动执行机构（图4）。
5 部件结构原理
执行器的主要部件有放大器、发信器和阀门。
① 放大器 电动放大器将小信号（通常是0～10毫安或4～20毫安直流电流）放大后驱动电动机或控制电炉加热功率。气动放大器通常是将帕斯卡气压信号放大。它的基本结构（图2）由波纹管、喷嘴和挡板组成。改变喷嘴与挡板之间的距离，输出信号p2也随之变化，且p2大于p1，可达到气压放大的目的。气动功率放大器是放大器的一种形式，它有足够的功率输出，用以直接推动执行机构。
② 发信器 发信器有位置发信器、速度发信器和转速发信器等。它将执行机构的输出转换成相应的电信号或气信号，作为各类执行器的反馈信号。
③ 阀门 在执行机构推动下改变阀瓣与阀座之间通流面积，从而调节流体流量。阀门结构形式有直通单座阀（图1）、直通双座阀、三通阀、角形阀、偏心旋转阀、蝶阀、球阀、隔膜阀和闸阀等。阀门的主要特征用阀门开度与流量之间关系来表示，称流量特性。在使用中可根据控制系统要求、流体性质和存在的主要干扰因素等来选择阀门结构形式和流量特性。 |
